微劲精密申请激光对位清洗装置专利更容易地确认晶圆的清洗过程

2026-04-25 11:56:50

　　国家知识产权局信息显示，微劲精密有限公司申请一项名为“激光对位清洗装置”的专利，公开号CN121869756A，申请日期为2024年10月。

　　专利摘要显示，一种激光对位清洗装置，包含基PG电子通信座单元、驱动单元、喷座单元及激光单元。所述基座单元用于限位晶圆。所述驱动单元包括左右滑座、左右滑台组、上下滑座、上下滑台组及载板。所述喷座单元连接于所述载板底侧，且包括喷座本体及至少一个喷嘴件。所述喷嘴件连接于所述喷座本体。所述激光单元连接于所述左右滑座，所述激光单元所发出的激光投射在所述晶圆的部分与所述喷嘴件所喷出的药剂接触所述晶圆的部分相互交叠。本发明通过使所述激光单元与所述喷座单元同动，从而确保所述激光单元发出的激光针对所述喷嘴件喷出的药剂进行标记，进而更容易地确认所述晶圆的清洗过程。

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