睿励科学仪器申请激光清洗能量的调试方法及晶圆测量装置专利得到最佳能量值

2026-03-31 00:07:52

　　

　　国家知识产权局信息显示，睿励科学仪器（上海）有限公司申请一项名为“激光清洗能量的调试方法及晶圆测量装置”的专利，公开号CN121666031A，申请日期为2025年11月。

　　专利摘要显示，本发明提供一种激光清洗能量的调试方法：首先，为参照晶圆提供第一光信号和第二光信号，使得第一光斑和第二光斑的位置重合，并确认第二光斑合格；其次，将参照晶圆替换为待测晶圆，在待测晶圆上设置n个探测点，为第二光信号设置n个能量值，测量n个探测点清洗前的第一厚度，第二光信号的n个PG电子网站能量值一一对应清洗n个探测点，测量n个探测点清洗后的第二厚度；最后，将第一厚度和第二厚度一一对应作差，建立关于n个能量值和n个厚度差的第一函数，并得到最佳能量值。本发明还提供一种晶圆测量装置，包括：测量模块、清洗模块及成像设备；测量模块用于测量晶圆的厚度；清洗模块用于清洗晶圆；成像设备用于观测晶圆上形成的光斑。

　　天眼查资料显示，睿励科学仪器（上海）有限公司，成立于2005年，位于PG电子网站上海市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本84071.5708万人民币。通过天眼查大数据分析，睿励科学仪器（上海）有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目39次，财产线条，此外企业还拥有行政许可20个。

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