激光清晰之路：适应现代节奏+迈向高效高质应用

2026-02-25 23:23:32

　　I 科学发展中国科学院半导体研究所林学春张志研摘要 ： 激光清洗技术是一项新型绿色清洗技术 ， 具有非常广阔的应用前景 ， 是激光先进制造重要组成 。 本文针对激光清洗核心技术脉冲激光源国内外发展现状进行了详细分析 ， 提出发展激光清洗技术 ， 关键是提高清洗效率 ； 最后对目前激光清洗技术部分应 用需求领域进行了介绍 ， 提出激光清洗技术在环保政策不断严格 、 高端制造业快速发展 的环境下有望为国民经济发展作出巨大贡献 。关键词 ： 激光清洗 ； 脉冲激光器 ； 清洗效率0 引言表面清洗是众多工业制造工序进行前必须 的重要预处理工作 ， 制件表面清洁度对后...

　　I 科学发展中国科学院半导体研究所林学春张志研摘要 ： 激光清洗技术是一项新型绿色清洗技术 ， 具有非常广阔的应用前景 ， 是激光先进制造重要组成 。 本文针对激光清洗核心技术脉冲激光源国内外发展现状进行了详细分析 ， 提出发展激光清洗技术 ， 关键是提高清洗效率 ； 最后对目前激光清洗技术部分应 用需求领域进行了介绍 ， 提出激光清洗技术在环保政策不断严格 、 高端制PG电子造业快速发展 的环境下有望为国民经济发展作出巨大贡献 。关键词 ： 激光清洗 ； 脉冲激光器 ； 清洗效率0 引言表面清洗是众多工业制造工序进行前必须 的重要预处理工作 ， 制件表面清洁度对后期涂 、 镀质量影响巨大 ， 尤其在轨道交通 、 远洋作业 、 航 空等重要领域 ， 因其特殊的工作环境 ， 更需高质 量的表面清洁度 ， 为后续防腐处理提供保证 ， 使 设备长时间稳定可靠工作 7 。激光清洗是一项新型绿色清洗技术 ， 配合自 动化执行机构及通过控制激光器运行参数 ， 更可 实现污染物的精密 、 定量 、 定点去除 ， 相比传统清 洗技术 ， 激光清洗优势明显 （ 如表 1 所示 ） 。 激光清 洗主要机理为物体表面污染物吸收瞬时 （ ps~ns ） 、 高能 （ mJ~J ） 激光后 ， 污染物气化挥发及瞬间受热 膨胀后 ， 克服机体表面对污染物粒子的吸附力 ， 使 其脱离物体表面 （ 如图 1 所示 ） ％ 然而 ， 继 1965 年 美国贝尔实验室肖洛首次提 “ laser eraser ” 的概念, 激光清洗技术并没有如激光切割 、 焊接及熔覆技 术一样快速发展,广泛服务于工业生产各领域 ， 主 要原因是其效率相对传统清洗方法还比较低 ， 不 能与现代化工业生产节奏相匹配 “ 1 。1 清洗用脉冲激光器激光源是激光清洗技术的核心 ， 也是限制及 提高激光清洗效率的关键 。 近年 ， 随着高功率激 光技术的快速发展 ， 激光清洗再次得到了人们的表 I 激光清洗与传统清除方法对比结果清洗方法 基材损伤 工作强度 环境污染 技术难度 清洗质量 清洗效率打磨清洗（ 喷砂 / 塑 、 砂轮 / 带打磨等 ）严重 大 较重 低 好 高化学清洗（ 浸泡 、 喷射 、 擦拭等 ）无 大 严重 较高 一般 高激光清洗 无 小 极小 高 好 低