光刻机霸主ASML的焦虑中国正在关上EUV大门

2025-09-22 02:06:21

　　

　　全球最顶尖的科技巨头——苹果、三星、英特尔、台积电——在荷兰光刻机企业ASML面前都得“礼让PG电子官网三分”。这家公司垄断了尖端芯片制造不可或缺的光刻机设备，堪称半导体产业的“守门人”。

　　ASML最先进的EUV光刻机每台售价高达3.5亿欧元，堪比一架空客A380的价格。 然而，就是这家看似不可撼动的巨头，如今却显露出前所未有的焦虑。

　　ASML在2024年交出了一份亮眼的成绩单：净销售额283亿欧元，创历史新高。中国大陆市场首次成为其最大市场，销售额达101.95亿欧元，占全球营收的36.1%。

　　这些数据背后，隐藏着一个惊人的事实：中国大陆的采购额占ASML系统设备销售收入的41%，超过了其第二大和第三大客户美国与韩国的总和。

　　但这条看似稳固的“护城河”，正在出现裂痕。在美国持续施加的出口管制压力下，ASML的高端设备对华供应受到严格限制，最先进的EUV光刻机被完全禁售。

　　面对封锁，中国半导体产业开始了一场静悄悄的“破壁之战”。在上海微电子的无尘车间里，28纳米浸没式光刻机正在进行10万小时可靠性测试。

　　中科院光电所的EUV光源实验装置已能稳定输出50瓦功率的13.5纳米极紫外光；清华大学研发的计算光刻软件，将28纳米制程的掩模版修正效率提升300%。

　　更加令人惊喜的，由中国科学院宣布成功研发全固态深紫外（DUV）激光光源技术，直接针对3nm芯片工艺需求。这项技术完全避开了ASML的专利限制，在材料与工艺方面实现完全自主化。

　　哈工大实验室里，一群工程师埋头苦干，几年没声响，突然扔出一张王牌：他们绕开ASML的老路，在全新的DPP技术路线上，撕开一道口子。哈工大突破13.5纳米极紫外光源技术，计划2025年第三季度启动国产EUV光刻机原型机试产。

　　浙江大学研发的“羲之”电子束光刻机精度达到0.6纳米，专攻量子芯片与新型半导体研发。

　　一口气推出十几款原型机，性能虽不及ASML巅峰之作，但每一台都在说同一句话：封锁？封不住所有可能性。

　　杭州璞璘科技交付了中国首台半导体级步进式纳米压印光刻机，线nm，优于日本佳能产品。该设备耗电量仅为EUV的十分之一，设备成本降至40%左右。

　　甚至在核心零部件领域，华卓精科研发出光刻机双工件台系统，成为全球第二家掌握该技术的企业；

　　百合光电的紫外LED光刻光源使用寿命达3万小时，是进口产品的30倍，成本却仅为三分之一。

　　光刻技术的突破正在引发半导体制造链的链式反应。中芯国际应用国产光刻机后，28纳米芯片量产周期缩短20%，晶圆成本下降15%。

　　长江存储引入国产光刻胶，使3D NAND堆叠层数突破232层，存储密度提升30%；华虹半导体采用自主计算光刻技术，将制程开发周期压缩40%。

　　产学研深度融合的创新模式正在重构中国半导体的技术生态。上海微电子与中芯国际共建的联合实验室，将光刻机调试效率提升50%；南大光电与华为联合开发的光刻胶智能检测系统，使缺陷分析速度提升10倍。

　　ASML对中国技术突破的担忧早已显露无疑。公司前首席执行官彼得·温宁克曾直言不讳：“中国人太聪明了，对中国封锁只会让西方企业先撑不下去。”

　　2025年3月，ASML宣布将在北京升级扩建维修中心。 此举被业界解读为通过加强服务来稳固中国市场，应对中国国产光刻机的进展。

　　ASML总裁兼首席执行官傅恪礼则警告道：“尽管我认同有时出于国家安全的考虑，出口管制在一定程度上有所必要，但限制手段不应被用作遏制竞争的工具。”

　　他曾直言不讳地指出，美国对华施压与所谓的“国家安全”关系不大，只是美国用来限制中国发展的借口。

　　中国光刻技术的突围正在改变全球产业权力结构。上海微电子的DUV光刻机年产能突破50台，迫使ASML加速对华设备交付。

　　南大光电的ArF光刻胶打入三星供应链，打破日本企业20年垄断；中科院长春光机所的EUV光学系统突破，使中国成为全球第三个掌握该技术的国家。

　　这些突破使中国在全球光刻设备市场的份额从0.8%跃升至12%，光刻胶出口额三年增长17倍。

　　在技术标准领域，中国主导的《浸没式光刻机检测规范》成为国际半导体设备与材料协会（SEMI）新标；制定的《极紫外光刻胶技术白皮书》被纳入IEEE标准体系。

　　失去中国，整个生态都会失衡，对所有参与者都是损失。ASML已经开始意识到，长期限制对自己没有好处。

　　中芯国际开始测试上海宇量昇研发的深紫外（DUV）光刻机。这台采用浸没式技术的机器，类似于ASML采用的技术。

　　当中国用全新路径造出光刻机那天，西方构建的整个技术高墙，会突然失去意义。

　　看完这信息，真是心潮澎湃，另人激动不已。中国的光刻机多路突卫，已经取得相当部分的成功。条条大路通北京，光刻机绝不会只是一条路，说不定我们的多路突破都会成功，只是各有所长。到了突破的那一天，中国的光刻机，可能就是套餐家族，那时，我国造芯片，就会游刃有余，想咋造就咋造。回头看ASI的光刻机，就像老古董一样苯重。这一天不远了！到时候让对手们傻笑到哭吧！是他们给自己掘了坟墓。

　　中国军工科学家和半导体研究的大批爱国科学家们，是坚强的战士，他们不屈不挠攻坚克难，并取得大批新成就，为中国的科学进步走出了新的创新之路，点赞这些科学家们，他们精神力量伟大。

　　关关难过关关过，这就是中华民族不怕苦不怕累埋头苦干加专研的精神，五千年的文明底蕴，这是任何其他国家都不具备也理解不了的。

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